UCC27201驱动半桥做逆变器TINA仿真好了一实测就烧芯片

电路图如上，比较器两个输入分别加的500Hz正弦波和100KHz三角波，比较器输出SPWM波，测试的HO-HS电压差波形和LO-GND电压差波形都是对的，最后输出的正弦波也是对的。将电路焊接出来后给UCC27201的VDD接上12V电压后，芯片马上就烧了，请各位大神帮忙看看电路有没有问题，多谢了，我已经烧了两个芯片了。。。。（自举电容取的0.1uF，半桥电容取的100uF，比较器用的LM311，比较器输出也是对的，开关管用的IRF540N）